Aro-Membran-Vakuumpumpe|Was ist eine Membran-Vakuumpumpe?
Diaphragma-Vakuumpumpen sind trockene Vakuumpumpen. Die von der Kurbelwelle angetriebene Pleuelstange bewegt die zwischen der obere Abdeckung und dem Gehäuse gespannte Membran. Der Raum zwischen der oberen Abdeckung und der Membran bildet eine Saugkammer. Membranpumpen benötigen Ein- und Auslassventile, um die Zielgasverdrängung zu erreichen. Ein Druckkontrollabsperrventil aus Elastomermaterial bildet dieses Ventil. Da die Saugkammer mit dem Treiber durch jede Membran dicht versiegelt ist, wird das Pumpmedium nicht durch Öl kontaminiert und das korrosive Medium korrodiert nicht die mechanische Struktur. Der feste Raum zwischen dem Auslassventil und der Saugkammer erzeugt ein begrenztes Verdichtungsverhältnis, was bedeutet, dass eine einstufige Pumpe einen Enddruck von etwa 70 hPa erreichen kann. Es ist möglich, mit mehrstufigen Pumpen, die in Serie geschaltet sind, einen ultimativen Druck von 0,5 hPa zu erreichen. Ein niedrigerer Druck kann nicht erreicht werden, da nicht mehr genug Kraft vorhanden ist, um das Einlassventil zu öffnen. Das Prinzip der Membranpumpe eignet sich besonders gut für niedrige Pumpgeschwindigkeiten von etwa 10 m³ · H-1.
Aro-Membran-Vakuumpumpe
