Leistungsmerkmale und spezialisierte Anwendungen von Membranpumpen in Vakuumsystemen
Ihre kohlenwasserstofffreie Saugkammer macht die Membranpumpe besonders geeignet als Rückzugspumpe mit einer turbomolekularen Pumpe. Selbst eine zweistufige Membranpumpe kann einen Enddruck von etwa 5 hPa erreichen. Für die Rückwärtspumpe einer turbomolekularen Pumpe ist dies ausreichend. Der Clean Vacuum eignet sich besonders gut für Analysen und F&E-Anwendungen. Da kein Gasballast vorhanden ist, kann die Membranpumpe keinen Wasserdampf abgeben. Selbst wenn eine geringe Menge Wasserdampf aus der Wand der Hochvakuumanlage desorbiert wird, kann der Enddruck der Membranpumpe stark ansteigen. Einige Membranpumpen sind jedoch mit einem Gasballastventil ausgestattet, das nach einer patentierten Methode arbeitet. Zu diesem Zweck wird Gas in den Verbindungsgang zwischen der ersten und zweiten Stufe der zweistufigen Membranpumpe gelassen, und dieser wird durch ein kleines Loch mit der Saugkammer der ersten Stufe verbunden.
Wenn sich eine größere Feuchtigkeit ansammelt und eine Membranpumpe ohne Gasballast verwendet wird, muss ein geeigneter Trenner oder eine Kaltfalle stromaufwärts angeschlossen werden, um die Bildung einer großen Menge Kondensat in der Pumpe zu verhindern. Aber der ultimative Druck wird zunehmen.
Membranpumpen unterscheiden sich in ihrem Enddruck, ihrer Pumpgeschwindigkeit und der Stabilität der ansaugenden ätzenden Gase. Die Pumpgeschwindigkeit dieses Pumpentyps liegt zwischen 3 und 160 l·min-1 (0,25 bis 9,6 m·h-1). Eine zweistufige Pumpe kann einen Enddruck unter 4 hPa erreichen, eine vierstufige Pumpe einen Enddruck unter 0,5 hPa. Die Pumpgeschwindigkeit und der erreichbare Enddruck hängen von der Frequenz der Stromversorgung ab.
Die korrosionsbeständige Gaspumpe mit beschichteter Membran und korrosionsbeständigem Gehäuse eignet sich zum Absaugen korrosiver Gase.
Die Benennungsmethode der Pumpe lautet l · min-1 zur Kennzeichnung der Pumpgeschwindigkeit und die Zahl zur Anzahl der Stufen der Pumpe.
