Wilden Membran-Vakuumpumpe| Anwendung der Membran-Vakuumpumpe
Durch ihre kohlenwasserstofffreie Saugkammer eignet sich die Membranpumpe besonders gut als Vorpumpe mit Turbomolekularpumpe. Selbst eine zweistufige Membranpumpe kann einen Enddruck von ca. 5 hPa erreichen. Für die Vorpumpe einer Turbomolekularpumpe ist dies ausreichend. Das saubere Vakuum eignet sich besonders für Analyse- und F&E-Anwendungen. Da kein Gasballast vorhanden ist, kann die Membranpumpe keinen Wasserdampf abpumpen. Selbst wenn eine kleine Menge Wasserdampf von der Wand der Hochvakuumanlage desorbiert wird, kann der Enddruck der Membranpumpe stark ansteigen. Einige Membranpumpen sind jedoch mit einem Gasballastventil ausgestattet, das nach einem patentierten Verfahren arbeitet. Zu diesem Zweck wird Gas in den Verbindungskanal zwischen der ersten und zweiten Stufe der zweistufigen Membranpumpe gelassen, der durch ein kleines Loch mit der Saugkammer der ersten Stufe verbunden ist.
Wenn sich eine größere Menge an Feuchtigkeit ansammelt und eine Membranpumpe ohne Gasballast verwendet wird, muss ein geeigneter Abscheider oder eine Kältefalle stromaufwärts angeschlossen werden, um die Bildung einer großen Menge Kondensat in der Pumpe zu verhindern. Aber der ultimative Druck wird zunehmen.
Membranpumpen unterscheiden sich in ihrem Enddruck, ihrem Saugvermögen und der Stabilität der ansaugenden korrosiven Gase. Das Saugvermögen dieses Pumpentyps liegt zwischen 3 und 160 l·min-1 (0,25 bis 9,6 m3·h-1). Eine zweistufige Pumpe kann einen Enddruck von weniger als 4 hPa erreichen, und eine vierstufige Pumpe kann einen Enddruck von weniger als 0,5 hPa erreichen. Das Saugvermögen und der erreichbare Enddruck hängen von der Frequenz der Stromversorgung ab.
Die korrosionsbeständige Gaspumpe mit beschichteter Membran und korrosionsbeständigem Gehäuse eignet sich zum Ansaugen korrosiver Gase.
Die Benennungsmethode der Pumpe ist l · min-1 zur Angabe des Saugvermögens und die Zahl zur Angabe der Anzahl der Stufen der Pumpe.
